RF MEMS开关的优化设计研究

摘要：

为了获得高性能的RF-MEMS开关,用HFSS软件对RF-MEMS开关进行S参数仿真,对采用三种不同的介电常数的介质材料的开关以及在开关结构中引入微电感的开关进行了仿真.仿真结果与研制的开关样管实测结果基本吻合.结果证明:(1)选择高介电常数的介质膜材料,可提高开关的隔离度;(2)在开关结构中引入微电感和选择合适的材料可控制开关的适用频率.

关键词： RF-MEMS开关 HFSS S参数 隔离度 介质膜材料 微电感

作者: 朱健 陈辰 林立强

作者单位: 南京电子器件研究所(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 179-181

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）