MEMS开关动态特性研究

摘要：

针对我所研制的MEMS开关的开关特性进行测试和研究,采用不同频率,不同占空比的方波驱动信号,对该MEMS开关的频率特性进行研究,采用不同的负载测试MEMS开关的电流能力.上述测试表明:该MEMS开关的驱动电压小于50V,最高工作频率10kHz,上升时间20μs,下降时间10μs,最大开关电流大于12mA.开关寿命大于1亿次.

关键词： MEMS 开关 开关特性测试 驱动电压 工作频率

作者: 邹学锋 胡小东 吕苗 赵正平

作者单位: 河北半导体研究所(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 176-178

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）