MEMS器件的失效模式和可靠性

摘要：

MEMS器件在商业和许多重要领域中的广泛应用使提高它的可靠性成为当务之急.了解器件的失效模式和机理是研究器件可靠性的基础.MEMS器件的复杂结构和工作环境致使其失效模式和机理多种多样,其可靠性分析也由于每类器件的独特结构而不同.本文结合几种微机械结构就MEMS器件的失效模式及机理和器件可靠性进行阐述.

关键词： MEMS器件 可靠性 失效模式 失效机理 集成电路工艺

作者: 李忻 车录锋 王跃林

作者单位: 中国科学院上海冶金研究所传感器技术国家重点实验室(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 173-175

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）