一种横向驱动多晶硅热执行器的有限元分析

摘要：

建立了一种横向驱动多晶硅热执行器的有限元模型,对其温度分布及偏转进行了分析,并比较了几种结构设计,得出了获得最大偏转所需的结构参数.所得出的结论和解析模型的结果相吻合.这种执行器在10V电压驱动下,最高温度为630℃,最大偏转为9μm.

关键词： 微机电系统 微执行器 热驱动 有限元分析 多晶硅

作者: 刘清惓 黄庆安

作者单位: 东南大学微电子中心(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 167-169

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）