RF MEMS复合膜开关的力学模型

摘要：

目前对MEMS开关和移相器的研究非常活跃.但是大部分的研究工作都集中在设计不同形状的开关结构和开关制作上,对开关静电力模型的研究还十分不够.文章利用材料力学知识,通过合理的假设和简化,推导出双晶结构梁膜式开关的静电力解析模型,并详细讨论了开关阈值电压和几何尺寸的关系.

关键词： 膜式开关 双晶结构梁 模型 阈值电压 微机械电子系统

作者: 郑惟彬 黄庆安 金玉丰 李拂晓

作者单位: 东南大学微电子中心(南京) 北京大学微电子研究所(北京) 南京电子器件研究所(南京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 164-166

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）