一种振动式微硅陀螺的设计与优化

摘要：

介绍了一种利用体硅工艺实现的电容式微机械陀螺.陀螺的驱动模态和检测模态采用互相独立的弹性梁结构,可以减弱两个模态间的机械耦合.利用有限元仿真软件ANSYS对结构进行了优化,可以保证陀螺两个工作模态的良好匹配.

关键词： 陀螺 微电子机械系统 有限元分析 优化设计 驱动模态

作者: 杨振川 郝一龙 武国英

作者单位: 北京大学微电子学研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 158-160

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）