PZT双压电薄膜的设计及动力学研究

摘要：

研究了一种管道微机器人驱动器的动作元件PZT—双压电薄膜,针对其应用背景设计了圆形和圆鼓形双压电薄膜结构.分析其运动机理,并利用有限元法研究了其动力学性能.理论上证明了两种结构的双压电薄膜都可以满足微机器人工作效率的要求.制作实验样机,圆形和圆鼓形双压电薄膜微机器人的运动速度分别为18mm/s和6.1mm/s.

关键词： PZT双压电薄膜 驱动器 有限元 动力学 管道微机器人

作者: 罗怡 龚振邦 孙麟治 汪勤悫

作者单位: 上海大学机电学院精密机械系(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 154-157

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）