基于复合梁的法布里-珀罗微腔结构力学性能的研究
提出了一种单片制作的四梁悬臂F-P微腔结构,用于MOEMS光开关的制作.为了减小残余应力对器件性能的影响,采用了具有不同初始应力的材料组成复合梁(氧化硅/氮化硅),氮化硅的张应力为氧化硅的压力所补偿,减小了初始变形,提高了机械灵敏度.经过模拟和优化,得到了带有尽可能小的残余应力且符合光学性能要求的复合介质各层的厚度参数,器件试制结果与之相符.
F-P微腔 光开关 复合梁 应力补偿 有限元分析 园片键合
陈兢 吴霁虹 徐扬 刘理天
清华大学微电子学研究所(北京)
国内会议
重庆
中文
151-153,169
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）