膜桥RF MEMS开关阈值电压的模拟分析及在结构优化设计中的初步应用

摘要：

采用理论计算和专用计算机辅助设计软件,研究了膜桥结构RF MEMS开关梁的厚度、长度、弹性系数和空气间隙等结构参数对阈值电压的影响.通过模拟分析四种结构膜桥结构的开关阈值电压,提出了开关膜桥结构优化设计的初步考虑.

关键词： RF MEMS 开关 模拟 阈值电压 微机械电子系统 结构优化设计

作者: 沈健 张锦文 杨振川 金玉丰

作者单位: 北京大学微电子所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 148-150

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）