微泵振动膜片的计算机模拟
分别对静电和压电驱动的膜片进行了计算机模拟,得出膜片厚度和驱动电压等参数对微泵体积变化的影响,以及膜片振动的固有频率与膜片结构参数之间的关系.由静电驱动的微泵,其腔体体积变化随着驱动电压的增加而线性增加,随着膜片厚度的增大而减小,膜片的固有频率随着膜片厚度的增加而增加.对于压电驱动的微泵而言,腔体体积变化随着驱动电压的增加而线性增加.如果压电膜片尺寸以及铜膜片半径固定,则铜膜片厚度存在最佳尺寸使得腔体体积变化达到最大值.同样,当压电膜片与铜基片的半径比为优化值时,腔体体积变化最大.振动膜片的固有频率随着压电膜片厚度和半径的增加而增加.研究结果为微泵结构的优化设计提供了依据.
微泵 振动膜片 有限元 计算机模拟 微机械电子系统 压电膜片
刘晓为 陶庆锋 王蔚 李新 马战
哈尔滨工业大学MEMS中心(哈尔滨) 保利公司(哈尔滨)
国内会议
重庆
中文
144-147
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）