T<,2>O<,5>薄膜光波导研究

摘要：

综合介绍了Ta<,2>O<,5>的特性以及在微电子、光学MEMS等领域的应用.根据作者的研究,设计、仿真与加工,介绍了Ta<,2>O<,5>薄膜光波导的结构、加工工艺以及部分结果等.

关键词： 光学微电子机械系统(MOEMS) Ta<,2>O<,5> 薄膜光波导 化学汽相淀积 脉冲激光淀积

作者: 李永红 Noell Wilfried Nico F.de Rooij

作者单位: 华北工学院微米纳米技术研究中心(太原);瑞士纳沙泰尔大学微技术学院(纳沙泰尔) 瑞士纳沙泰尔大学微技术学院(纳沙泰尔)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 136-138

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）