MCM高温共烧多层基板技术

摘要：

研究纳米氧化铝陶瓷的材料技术、流延技术、和工艺技术.研究与之兼容的金属化材料精细印刷、层压技术和高层数陶瓷基板布局布线技术,用以制作高的表面光洁度、平整度、体积密度,并有良好机械、电气和散热特性的大面积多层陶瓷基板.

关键词： 纳米 氧化铝 流延技术 布局布线 多层陶瓷基板

作者: 王卫艳 周世平 姜海波 赵永林

作者单位: 信息产业部电子十三所(石家庄)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 133-135

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）