欧洲MEMS发展概况

摘要：

介绍了欧洲各国MEMS的发展现状.本文分别从政府、大学及研究机构的角度介绍了欧洲各国MEMS的研究方向、机构设置、相关产品和工艺设备的情况,目的是为国内从事MEMS研究和开发的人员了解欧洲MEMS发展动态提供一些有用的信息.

关键词： 欧洲 MEMS 微机械电子系统 传感器 工艺设备 微电子中心 微电子材料

作者: 丁然

作者单位: 信息产业部电子第四十九所(哈尔滨)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 13-15

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）