热处理对PZT薄膜结构及折射率的影响

摘要：

采用溶胶-凝胶方法在Pt/Ti/SiO<,2>/Si的衬底上通过悬涂法制备了PZT(Zr/Ti=53/47)薄膜.用XRD、AFM和椭圆偏振仪研究了薄膜结构、表面形貌及折射率随热处理温度的变化,发现在750℃的热处理温度下可以获得具有结晶良好,折射率n=2.325的薄膜.

关键词： 溶胶-凝胶 PZT 热处理 表面形貌 折射率 PZT薄膜

作者: 胡正军 王莉 徐东 蔡炳初

作者单位: 上海交通大学信息存储研究中心(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 127-129

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）