外延生长YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜的SPM表面分析

摘要：

利用激光脉冲沉积法在钛酸锶SrTiO<,3>(001)斜切基片上外延生长YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜,斜切方向是沿(001)面向”010”方向.在大气、室温条件下,采用扫描探针显微镜(SPM)对YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜的表面形貌进行观测.SPM清晰地观察到了YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜的纳米台阶状表面形貌,同时每一台阶又是由若干条更细小的亚台阶组成.可见,SPM将是在大气条件下直接观察外延生长YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ>薄膜生长机理的重要研究手段.

关键词： 外延生长 扫描探针显微镜 SrTiO<,3> YBa<,2>Cu<,3>O<,7-δ> YBCO薄膜 表面形貌

作者: 时东霞 巴德纯 胡文斐 李林 庞世瑾 高鸿钧

作者单位: 东北大学机械工程与自动化学院(沈阳);中科院物理所和凝聚态物理中心北京真空物理开放实验室(北京) 东北大学机械工程与自动化学院(沈阳) 中科院物理所超导国家重点实验室(北京) 中科院物理所和凝聚态物理中心北京真空物理开放实验室(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 121-123

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）