LIGA-EDM复合技术的研究

摘要：

提出LIGA-EDM复合技术,即采用LIGA技术制备工具电极的微细电火花加工技术.通过同步辐射深度光刻得到的胶结构厚度达2mm、深宽比约为100,使用电铸技术得到厚度达1mm的铜工具电极,利用该电极进行微细电火花加工实验,在不锈钢上加工出异形小孔阵列.

关键词： 微细加工 LIGA技术 微细电火花加工 深度光刻

作者: 彭良强 伊福廷 张院春 邹丽芸 李勇 张菊芳 韩勇

作者单位: 中国科学院高能物理研究所(北京) 北京市机电研究院(北京) 清华大学精仪系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 119-120

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）