利用微机械技术制造微测辐射热计

摘要：

介绍了非致冷微测辐射热计红外焦平面阵列器件的结构、原理和应用,给出了利用与集成电路工艺兼容的微机械技术制作微测辐射热计的工艺流程,分析了该器件的优缺点,并给出了成像示例.

关键词： 微测辐射热计 微机械 非致冷 红外焦平面阵列 集成电路工艺

作者: 汪涛 袁祥辉 吕果林 黄友恕

作者单位: 重庆大学A区光电工程学院(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 325-327

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）