光纤横向偏移型MEMS可变光衰减器初探

摘要：

可变光衰减器(VOA)是光纤通信系统中重要的无源器件之一.采用MEMS技术的可变光衰减器,从实现光衰减的机制上分,主要有平面波导型、光路遮挡型、微镜倾斜型和MARS型等.文章提出了一种新的类型——光纤横向偏移型MEMS可变光衰减器,主要由光纤定位结构、固定光纤、可偏移光纤和微执行器组成.理论分析表明这种MEMS可变光衰减器不仅可行,而且具有衰减范围大、衰减精度高、插入损耗小、回损大、与传输光波长、偏振无关、可在单片上制造阵列等优点.

关键词： 微机电系统 可变光衰减器 光纤通信系统 微执行器

作者: 吴茂松 杨春生 茅昕辉 赵小林 蔡炳初

作者单位: 上海交通大学微纳米科学技术研究院信息存储研究中心(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 322-324

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）