石英微机械惯性器件及其应用

摘要：

石英微机械惯性器件(陀螺、加速度计、惯性测量组合)有广泛的应用领域和很好的发展前景.文章首先叙述了石英微机械振动陀螺和石英微机械加速度计的工作原理、结构、加工工艺和主要性能,简要介绍了它们的应用.

关键词： 石英 微机械 惯性器件 陀螺 加速度计 压电材料 微细加工 刻蚀

作者: 吕志清 张巧云 林日乐 张挺

作者单位: 信息产业部电子第二十六研究所(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 315-318

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）