LIGA技术中微复制工艺的研究

摘要：

LIGA技术包括同步辐射X光深层光刻、微电铸、微复制3个部分.它能够加工高深宽比的微结构,侧壁陡峭,表面平整.微复制可实现大规模高深宽比三维微结构加工,所用塑料价格低廉、品种繁多,在光学、医学都可有广泛使用.文章作者在HEX01/T-A真空模压系统下对多种高分子材料和不同的图形进行了多次微复制试验,获得了PC、PMMA、结晶POM、PS、PVC材料优化的模压参数,并在这些材料上获得了不同图形的高深宽比的微结构.

关键词： LIGA 微复制 HEX01/T-A真空模压系统 微复制工艺 同步辐射深层光刻

作者: 张卫平 陈文元 陈迪 陈晓梅 吴校生 徐正福

作者单位: 上海交通大学信息存储研究中心(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 112-115

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）