用于真空微电子压力传感器批量化生产隔离的技术

摘要：

在阳极膜上进行各项异性腐蚀硅深槽,采用外延方式生长多晶硅,进行填槽,再对表面进行化学机械抛光,实现了槽隔离的批量化生产.

关键词： 深槽隔离 阳极膜 腐蚀 多晶硅 抛光 压力传感器 真空微电子

作者: 杨国渝 冯建 张正元 陈红

作者单位: 信息产业部电子第二十四研究所(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国微米/纳米技术学术会议

会议地点: 重庆

会议语种:中文

页码: 107-108

在线出版日期: 2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）