DEM技术中PMMA深层刻蚀工艺研究
DEM技术是由上海交通大学开发出来的一种全新的三维微细加工技术.本文旨在研究DEM技术中利用反应离子刻蚀(RIE)深层刻蚀塑料PMMA的工艺.主要研究了刻蚀功率、工作气压、刻蚀气体流量等对刻蚀速率、侧壁和底部状态等的影响.开发出一种新颖的刻蚀方法,采用反应离子刻蚀与兆声清洗相结合的方法,得到高50μm,深宽比>5且侧壁光滑垂直,底部干净平整的微结构.
DEM技术 反应离子刻蚀 PMMA 深层刻蚀 三维微细加工 微机械电子系统
杨帆 陈迪 李以贵 唐敏 毛海平 李昌敏 倪智萍
上海交通大学微纳米科学技术研究院(上海)
国内会议
重庆
中文
104-106
2001-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）