电容式传感器的复数电压测量法
目前,对以电容变化为输出信号的传感器,多数采用RLC数字电桥测量.这种仪器一次只能测量一个传感器,检测效率低,无法满足批量生产的需要.为解决这个问题,本文提出了一种复数电压测量法.采用这种测量法可以同时对多个传感器的电容值和品质因数(即Q值)进行测量.并对模拟电路中的电子开关、电流放大器、正弦波发生电路对测量的影响采用了跟踪测量,确定了修正的数学模型,并进行了数字修正.这种方法已经在电容式湿度传感器性能测试仪中应用,对电容值在30pf到100pf范围的湿度传感器实现了0.1pf的高分辩力测量,精度达到±0.2pf,Q值测量精度达到±5﹪.
电容式传感器 品质因数 复数电压 漏电流
丁喜波 周真 王天荣
哈尔滨理工大学测控与通讯技术学院(黑龙江哈尔滨)
国内会议
嘉峪关
中文
34-37
2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）