一种新型的α-Al<,2>O<,3>绝对湿度传感器

摘要：

氧化铝湿度传感器是目前露点测量中最为常见的一种湿度传感器.经改进后的α-Al<,2>O<,3>作湿敏层的湿度传感器,与早期的相比具有较宽的线性范围、较小的惰性和较小的温度系数.

关键词： α相三氧化二铝(α-Al<,2>O<,3>) 湿度传感器 湿敏元件 湿敏层

作者: 曹佩韦 张池军 史青 金懋昌

作者单位: 95989部队(北京) 电子科技大学材料分析中心(四川成都)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年全国湿度、水分、气体学术交流会

会议地点: 嘉峪关

会议语种:中文

页码: 13-14,37

在线出版日期: 2002-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）