微电子数字电路标准物质制备技术研究

摘要：

本文突破传统的标准物质制备理念,把微电子数字电路的标准样片制备,从自制蕊片改成从成品中选取,大大降低了制备难度,使步履艰难的微电子标准物质制备技术,从山穷水尽转变为柳暗花明.全文祥细地介绍了在这一理念下,微电子数字电路标准样片制备过程的主要步骤和方法.

关键词： 微电子 数字电路 标准物质 制备技术

作者: 沈森祖 夏强民

作者单位: 中国船舶重工集团公司第七0九研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年全国电子测控工程学术年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 851-855

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）