采用硅桥结构的大功率红外光源

摘要：

本文介绍了一种新型硅红外光源,它采用硅的微机械加工技术制作,具有高辐射效率,高输出功率,快速响应的优点.为红外光源的陈列化、高速化、程控化带来希望.

关键词： 光源 红外 硅桥 红外光源 微加工技术 辐射效率 响应时间

作者: 庄庆德 古田土节夫

作者单位: 河北科技大学(中国石家庄) 安立公司(日本东京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年全国电子测控工程学术年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 1444-1446

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）