微电子参量测量的不确定度表示

摘要：

本文叙述了在微电子参量检测结果中引入测量不确定度的重要意义.重点讨论了在微电子测量过程中应考虑的影响因素以及标准不确定度的计算规则.最后,给出了微电子参量测量不确定度表示的一种特殊应用,对验证测试系统的可用性和测试结果的可靠性有较大的现实意义.

关键词： 不确定度 微电子器件 参量检测

作者: 周红 沈森祖

作者单位: 中国船舶重工集团公司第七0九研究所

会议类型: 国内会议

会议名称: 2002年全国电子测控工程学术年会

会议地点: 武夷山

会议语种:中文

页码: 21-24

在线出版日期: 2002-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）