光纤式光学针描法粗糙度测量技术

摘要：

本文针对传统针描法存在的固有缺点,提出了以单模光纤做“触针”的光学针描法粗糙度测量技术.讨论了它的基本原理,“触针”形状尺寸,光纤探头结构设计,实验系统及测量结果.

关键词： 粗糙度测量 轮廓调制 光学针描法 探头结构 金属表面

作者: 鲍振武 刘钊 刘剑飞

作者单位: 天津大学电子信息学院(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 全国第六届电子测量与仪器学术报告会

会议地点: 太原

会议语种:中文

页码: 187-190

在线出版日期: 2000-01-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）