磁敏集成角度传感器及其测量研究
该文研制了一种无触点的十字形两维集成垂直霍尔器件,它对平行于芯片表面的磁场敏感。当与被测转角(α)的物体轴向相连的径向永久磁铁转动时,磁场分量B<,X>,B<,Y>分量相对变化,造成两对集成霍尔板输出电量相应地变化。这时传感器通过tan<”-1>(V<,x>/V<,y>)可求得转角α,从而达到测量角度的目的。测量结果表明角度测量的分辨率可达1<”0>。
磁敏集成角度传感器 角度测量 霍尔器件
蔡彦 景圳 赖宗声 郑学军 郑筱莉
华东师范大学电子工程系(上海)
国内会议
北京
中文
340~343
1999-10-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)