不同状态的SiAl丝对键合点根部损伤的影响

摘要：

键合点根部损伤是Al丝超声键合工艺中最常见的问题之一,严重的根部损伤不仅使焊点的键合强度降低,甚至会使键合点失效.本文通过优化键合机器的工艺参数,分析键合丝的组成成份和采取不同的退火条件,研究Al丝超声键合中,键合点根部损伤的程度,为键合丝的选用提供依据,也为进一步提高Al丝超声键合强度做一些基础工作.

关键词： 混合电路 薄膜 超声键合 根部损伤 键合丝

作者: 李自学 王凤生 张承军

作者单位: 西安微电子技术研究所(西安)

会议类型: 国内会议

会议名称: 2001年全国电源技术应用研讨会,2001年全国电子元器件应用研讨会

会议地点: 北京

会议语种:中文

页码: 223-225

在线出版日期: 2001-08-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）