微电子机械系统的进展与应用前景

本文论述了微电子机械系统(MEMS)的内涵,分析了MEMS近年来的研究进展,以微型传感器微型执行器为例,探讨其设计思想,主要加工技术及应用前景.
微机械 微结构 传感器 执行器 微电子学 微电子机械系统
王长河
信息产业部电子第十三研究所(石家庄)
国内会议
2001年全国电源技术应用研讨会,2001年全国电子元器件应用研讨会
北京
中文
178-181
2001-08-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
微机械 微结构 传感器 执行器 微电子学 微电子机械系统
王长河
信息产业部电子第十三研究所(石家庄)
国内会议
2001年全国电源技术应用研讨会,2001年全国电子元器件应用研讨会
北京
中文
178-181
2001-08-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)