近空间升华技术中气氛对CdTe薄膜的结构、性质的影响
发展近空间升华氩气氛沉积工艺可以降低制备成本.本文使用近空间升华技术,在不同氧含量的氩氧气氛下沉积CdTe多晶薄膜.测量了薄膜的X射线衍射谱,计算了薄膜的织构系数;测量了薄膜的透射谱,计算了光能隙.研究了择优取向和光能隙随氧含量的变化.结果表明,1)不同气氛下沉积的CdTe薄膜均为立方相结构.随氧含量的增加,织构系数σ增加,氧含量为6﹪时,σ最大,之后随氧含量增加,σ降低,在12﹪达到最小,然后随氧含量的增加而增加.在玻璃衬底上沉积的CdTe薄膜,比在CdS上沉积的具有更高程度的择优取向;2)CdTe薄膜的光能隙为1.50eV~1.51eV,氧含量对其影响甚微.
太阳电池 近空间升华 CdTe薄膜 薄膜结构 光学性质
张静全 冯良桓 冷文建 蔡亚平 蔡伟 郑家贵 李卫 武莉莉 蔡道林
四川大学材料科学系(成都)
国内会议
杭州
中文
89-92
2002-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）