氢等离子体钝化多晶硅的初步研究

摘要：

利用氢等离子体处理多晶硅片,对处理前后的样品分别使用μ-PCD进行少子寿命的测试,讨论和比较了多晶硅中的钝化情况随氢等离子体处理温度和时间的变化规律.

关键词： 少子寿命 太阳能电池 氢等离子体钝化

作者: 王晓泉 杨德仁

作者单位: 浙江大学硅材料国家重点实验室,浙江大学(杭州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第七届光伏会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 296-298

在线出版日期: 2002-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）