铸造多晶硅铝吸杂的EBIC研究

摘要：

本文利用电子束诱生电流(EBIC)对太阳电池用铸造多晶硅材料铝扩散吸杂进行了研究.通过对铸造多晶硅中晶界、位错等缺陷不同温度EBIC图像的分析,确定了复合类型,分析了铝扩散的作用.此外,还发现奇怪的位错明衬度缺陷,分析了其产生原因.

关键词： 铸造多晶硅 铝 电子束诱生电流 太阳能电池 扩散吸杂

作者: 陈君 杨德仁 阙端麟 M.Kittler

作者单位: 浙江大学硅材料国家重点实验室(杭州) IHP,Im Technologiepark 25,15236 Frankfurt(Oder),Germany

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第七届光伏会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 268-272

在线出版日期: 2002-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）