多晶硅太阳电池绒面技术

摘要：

用化学腐蚀方法制作多晶硅片绒面,利用SEM测试分析化学腐蚀后多晶硅片表面形貌,通过反射谱的测试,分析了多晶硅片表面陷光效果.结果表明酸溶液腐蚀的硅片表面相对平整,有均匀的腐蚀抗,反射率很小,在没有任何减反射膜的情况下,在500-1000nm波长范围内,反射率在16﹪以下,表面陷光效果较好.而用碱溶液和双织构腐蚀方法得到的多晶硅表面陷光作用都不理想,反射率高于酸溶液腐蚀的硅片.

关键词： 表面织构 化学腐蚀 多晶硅太阳电池 绒面技术

作者: 赵百川 孟凡英 徐秀琴

作者单位: 上海交通大学物理系太阳能研究所(上海)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第七届光伏会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 259-263

在线出版日期: 2002-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）