多晶硅薄膜的区熔再结晶研究

摘要：

本文研究了一种简单的区熔再结晶方法.通过改变区熔再结晶的气氛,简化了区熔再结晶的工艺.本文给出了相关实验结果并对相关机制进行了探讨.

关键词： 区熔再结晶 多晶硅薄膜 太阳电池

作者: 李艳 励旭东 龚欣 程天 许颖 赵玉文

作者单位: 北京师范大学低能核物理研究所(北京) 北京市太阳能研究所(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第七届光伏会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 243-246

在线出版日期: 2002-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）