非晶硅太阳电池ZnO/Al复合背反射电极的研究

摘要：

本文首先就低温(140℃)下用Zn:Al合金靶直流反应磁控溅射法沉积ZnO:Al透明导电膜的工艺条件进行了优化研究.然后在单结(glass/SnO<,2>/pin/)或双结(glass/SnO<,2>/pin/pin/)非晶硅电池上沉积约70-700nm厚的ZnO透明导电膜,最后再用电阻蒸发法沉积Al电极.实验获得了较好的n<”+>/ZnO界面,实现了ZnO/Al背电极的增反作用,使电池的短路电流增加1-2mA/cm<”2>,光电转化效率提高1-2﹪(绝对效率),小点电池效率达到9.5﹪.

关键词： 非晶硅太阳电池 ZnO/Al复合背电极 背反射 短路电流 转换效率 磁控溅射法

作者: 薛俊明 周祯华 任慧志 张德坤 孙建 朱锋 麦耀华 耿新华

作者单位: 南开大学光电子薄膜器件与技术研究所(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第七届光伏会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 220-223

在线出版日期: 2002-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）