高速沉积非晶硅太阳电池

摘要：

本文介绍了在RF-PECVD系统上采用调节气体辉光功率和反应压力方法沉积出4A/S以上,光敏性(σ<,ph>/σ<,d>大于10<”5>的a-Si:H材料,并在此基础上得到高速沉积的非晶硅太阳电池,电池的效率高于9.5﹪.

关键词： 非晶硅太阳电池 光敏性 沉积速率 化学气相沉积

作者: 任慧志 张德坤 薛俊明 祝俊刚 孙建 黄维海 麦耀华 耿新华

作者单位: 南开大学光电子所(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第七届光伏会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 211-214

在线出版日期: 2002-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）