会议专题

纳米硅薄膜的光电特性研究

纳米薄膜是具有纳米微结构的薄膜材料,其结构可从几纳米至0.1微米,可由多种方法得到,如:RF方法、PECVD方法.薄膜的结构特点是:由纳米晶粒和晶粒间具有无序结构成分的界面组织组成.加氢纳米晶硅有高的电导率,高的载流子迁移率,以及发光的蓝移,以及不同于普通薄膜的电流-电压特性.这些新特性都与其量子效应有直接的关系.

纳米硅薄膜 光电特性 薄膜材料

赵占霞 崔容强

上海交通大学物理系太阳能研究所(上海市)

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197-199

2002-10-23(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)