颗粒硅带为衬底的多晶硅薄膜太阳电池制备工艺的研究

摘要：

通过在颗粒硅带(SSP--Silicon Sheet from Powder)衬底上进行外延多晶硅薄膜、发射区扩散、掩膜法制作上下电极等工艺,制备了以颗粒硅带为衬底的多晶硅薄膜(poly-CsiTF)太阳电池,所制得电池的最高转换效率达到6.05﹪(电池面积1cm<”2>).通过对电池性能参数的测量、分析,讨论了颗粒硅带制备工艺以及外延层质量等因素对太阳电池性能原影响.

关键词： 颗粒硅带 多晶硅薄膜 发射区扩散 太阳能电池 制备工艺

作者: 班群 王晓晶 华南理工大学材料与工程学院(广州) 沈辉 华南理工大学材料与工程学院(广州)

作者单位: 中国科学院广州能源研究所(广州)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第七届光伏会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 173-176

在线出版日期: 2002-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）