CBD法制备的硫化镉薄膜性能分析

摘要：

在制备硫化镉薄膜的过程中,为了减少CBD法中胶体颗粒,我们改进了CBD法的装置,使用了超声搅拌.制备了硫化镉薄膜,并对它进行了退火处理,分析了它的XPS.发现超声波震荡有利于改善薄膜的性能和控制成膜条件.同时还观察到经退火后薄膜的窗口效应得到了增强,由于硫化镉薄膜发生了释氧反应,硫化镉薄膜由含多种氧化物相向较单一的多晶硫化镉相转化,因此退火有利于改善薄膜的性能.

关键词： CBD法 硫化镉薄膜 薄膜制备 薄膜性能

作者: 刘高斌 刘亚静 郭江 成都理工大学电子工程系(成都) 冯庆 王万录 廖克俊

作者单位: 重庆大学应用物理系(重庆)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国第七届光伏会议

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 1-4

在线出版日期: 2002-10-23（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）