石英晶体表面溅射TiN薄膜实现生物传感的研究

摘要：

本文提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成TiN薄膜,研究了TiN薄膜的性能以及作为生物传感检测时的频率偏离特性.

关键词： 磁控溅射 石英晶体 频率偏离 氮化钛薄膜 生物传感器

作者: 赵龙章 梁荣庆

作者单位: 扬州大学(扬州) 中国科学院等离子体物理研究所(合肥)

会议类型: 国内会议

会议名称: 中国仪器仪表学会第三届青年学术会议

会议地点: 沈阳

会议语种:中文

页码: 305-306,308

在线出版日期: 2001-06-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）