石英晶体表面溅射TiN薄膜实现生物传感的研究
本文提出了用磁控溅射法在石英晶体表面形成TiN薄膜,研究了TiN薄膜的性能以及作为生物传感检测时的频率偏离特性.
磁控溅射 石英晶体 频率偏离 氮化钛薄膜 生物传感器
赵龙章 梁荣庆
扬州大学(扬州) 中国科学院等离子体物理研究所(合肥)
国内会议
沈阳
中文
305-306,308
2001-06-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)
磁控溅射 石英晶体 频率偏离 氮化钛薄膜 生物传感器
赵龙章 梁荣庆
扬州大学(扬州) 中国科学院等离子体物理研究所(合肥)
国内会议
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2001-06-01(万方平台首次上网日期,不代表论文的发表时间)