磁控溅射法在有机薄膜衬底上制备ZnO:Al透明导电薄膜

摘要：

用射频磁控溅射方法在有机柔性衬底上制备出好的附着性、低电阻率、高透射率ＺｎＯ：Ａｌ的透明导电膜，研究了薄膜的结构、电学和光学特性。

关键词： 磁控溅射 柔性衬底 ZnO Al薄膜

作者: 扬田林 马瑾 张德恒 马洪磊

作者单位: 大学光电材料与器件研究所(济南) 大学物理系(济南)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第五届全国光伏技术学术研讨会

会议地点: 杭州

会议语种:中文

页码: 53～57

在线出版日期: 1998-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）