关键词： 磁控溅射 附着力 镀层厚度 表面形貌
作者: 刘际伟 胡贵生
作者单位: 工程物理研究院化工材料研究所
会议类型: 国内会议
会议名称: 全国薄膜学术讨论会
会议地点: 上海
会议语种:中文
页码: 257～260
在线出版日期: 1999-10-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）