微波ＥＣＲ离子源电源及调试

摘要：

简要介绍了了氧离子注入机ＥＣＲ离子源系统，重点定性地分析了磁控管阳极电源的工作原理，并提出了改正意见。

关键词： 磁控管 开关电路

作者: 孙雪平

作者单位: 产业部电子第48研究所(长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会

会议地点: 长沙

会议语种:中文

页码: 247～251

在线出版日期: 1999-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）