磁镜场对射频等离子体中离子能量分布的影响

摘要：

射频等离子增强化学气相沉积是制备优质薄膜的一种非常重要的方法，等离子体中输运参数与薄膜生长及其特性关系密切。我们综合利用自行设计和研制的管式射频等离子体诊断设备对等离子体中离子能量分布进行了成功的测量。

关键词： 磁镜场 射频等离子体 离子能量分布

作者: 刘洪祥 刘艳红 王均震 刘祖黎 魏合林

作者单位: 华中理工大学物理系

会议类型: 国内会议

会议名称: 第九届全国等离子体科学技术会议

会议地点: 大连

会议语种:中文

页码: 62-65

在线出版日期: 1999-08-09（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）