一种新型的超导磁场单晶炉的研制
磁场对于半导体晶体生长过程中的流动模式有着明显的影响，因而可以改善晶体的组分和杂质的分布。在半导体单晶生长过程当中利用超导磁场来抑制熔体的对流，采用这种方式既可以生长出优质的单晶又可以研究熔体的对流与扩散对生长半导体单晶的质量影响。该文报道了新近自行设计、制造的一种新型超导磁场直拉单晶炉。
磁场 单晶炉
吴金良 钟兴儒
中国科学院半导体研究所半导体材料科学实验室国家微重力实验室(北京)
国内会议
海口
中文
453～456
2000-11-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）