新型超硬薄膜材料——氮化碳(CN<,x>)

摘要：

介绍了一种新型超硬薄膜材料-氮化碳(CN<,x>)的组成和结构,并对其主要的力学性能,光学性能及应用进行了概述.并综述了氮化碳的反应溅射、化学气相沉积、离子注入、高压合成、激光烧蚀等制备工艺方法.

关键词： 超硬薄膜 氮化碳 薄膜材料 力学性能 制备工艺

作者: 万隆 余舜 尹斌

作者单位: 湖南大学材料科学与工程学院(湖南长沙)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 佛山

会议语种:中文

页码: 96-100

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）