不同衬底材料在制备SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>铁电陶瓷薄膜中的作用

摘要：

采用可溶性无机盐为原料,利用溶胶-凝胶法分别在Al<,2>O<,3>和Si(111)/SiO<,2>Ti/Pt的衬底材料上制备了SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>铁电薄膜.通过SEM及XRD等微观分析手段,研究了不同衬底材料对凝胶膜与晶态膜的开裂情况、成相情况、晶体取向及微观结构等方面的影响,从实验和理论方面进行了探讨,为无机盐溶液源制备SrBi<,2>Ta<,2>O<,9>铁电薄膜提供了研究基础.

关键词： SrBi<,2>Ta<,2>O<,9> 薄膜制备 铁电陶瓷薄膜 溶胶凝胶法 衬底材料 微观结构

作者: 季惠明 张彬 徐廷献 徐明霞

作者单位: 天津大学(天津)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 佛山

会议语种:中文

页码: 292-295

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）