利用熔盐反应法在AIN陶瓷表面制备Ti金属化薄膜

摘要：

利用熔盐反应法,成功地在AIN陶瓷表面制备了Ti金属化薄膜.研究了金属化处理时间、温度和反应物(氟钛酸钾)初始浓度对薄膜显微结构的影响.结果表明,随着时间的增加,温度的升高,反应物(氟钛酸钾)浓度的增大,薄膜中的Na<,2>Ti<,3>Cl<,8>相减少,TiN相增加.对其原因做了简单分析,还对薄膜的形成过程进行了讨论.

关键词： 熔盐反应法 氮化铝陶瓷 表面金属化 Ti金属化薄膜 显微结构

作者: 张喆 潘伟 李建强

作者单位: 清华大学材料科学与工程系(北京)

会议类型: 国内会议

会议名称: 第12届全国高技术陶瓷学术年会

会议地点: 佛山

会议语种:中文

页码: 152-155

在线出版日期: 2002-09-01（万方平台首次上网日期，不代表论文的发表时间）